精餾，將工業(yè)無水氟化氫液體通入精餾釜，用氮?dú)庵脫Q精餾釜中的空氣，控制精餾釜內(nèi)壓力≤０．１Ｍｐａ，加入高錳酸鉀，高錳酸鉀的加量占工業(yè)無水氟化氫加量的０.６－１重量％，攪拌１０分鐘±５分鐘，靜止２０分鐘±５分鐘，使工業(yè)無水氟化氫中含有的大量的二氧化硫和三氟化砷生成難以揮發(fā)的化合物；然后加入３０重量％的過氧化氫，過氧化氫占工業(yè)無水氟化氫加量的０．５－５重量％，攪拌１０分鐘±５分鐘，靜止２０分鐘±５分鐘；升溫至６０－８０℃，氟化氫液體氣化生成純化的氟化氫氣體。

冷卻過濾，將出精餾釜的純化的氟化氫氣體通入冷卻器進(jìn)行冷卻并過濾，冷卻器底部布滿聚四氟乙稀填料，對氟化氫氣體進(jìn)行過濾，通過降溫把已經(jīng)純化后的氟化氫氣體轉(zhuǎn)換成氣液相臨界狀態(tài)，使其中還存有的少量雜質(zhì)進(jìn)行分離，雜質(zhì)部分回流至精餾釜，經(jīng)冷卻過濾得再次純化的氟化氫氣體進(jìn)入吸收塔。
吸收塔內(nèi)注入去離子水，吸收塔底部設(shè)置布?xì)獗P管，將出冷卻器的氟化氫氣體通入吸收塔底部的布?xì)獗P管，由布?xì)獗P管管壁上的布?xì)饪揍尫懦鰜砗笤儆扇ルx子水吸收制成氫氟酸半成品。過濾，出吸收塔的氫氟酸半成品通入０.０５－０.２μｍ的過濾器過濾后得到超高純氫氟酸成品。